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影響真空環境的因素

更新時間:2023-11-20 點擊量:911

真空環境的獲得比較困難,尤其是超高真空環境,其中主要的影響因素有以下幾點:

1. 部件生產過程中,其表面不可避免的會附著金屬碎屑和灰塵,因此在進行抽空作業前,必須對部件表面進行清潔,以保證環境盡快達到所需要求。

2. 在溫度和壓力的作用下,所有物質都可以通過冷凝和蒸發在固液氣三種狀態下變化,因此物質的聚集狀態對真空環境的影響巨大。

3. 吸附在部件表面的氣體在真空環境下會被解吸,之后逸到真空環境中,影響真空系統、另外真空系統通常由不同的密封件連接在一起,由于密封質量的不同,因此整體的漏率對真空環境影響較大。

4. 為了獲得高質量的真空環境,在操作過程中,可使用烘烤的方法增加氣體的解吸和擴散,以便設備能更多的抽出金屬中逸出的氣體。

5. 由于解吸過程緩慢,為了防止冷凝蒸汽(如水蒸氣和其他可冷凝物)吸附在真空室內壁上,造成避免不必要的污染,應該使用干燥的氮氣代替空氣對真空室進行排氣。


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