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真空技術專業名詞解析

更新時間:2023-11-15 點擊量:883

在真空科學與技術中,真空"詞被理解為低于一個標準大氣壓的氣體狀態。這種狀態同正常的大氣狀態相比較,氣體較為稀薄,即單位體積內的分子數目較少,分子之間或分子與其它粒子(如電子、離子)之間的碰撞幾率減少,分子在單位時間內碰撞于單位表面積(如器壁)上的次數也相對減少。這些是真空"的主要特性。真空常用帕斯卡(Pa)或托爾(Torr)作為壓力的單位(1 Torr = 133.3 Pa)。在自然環境里,只有外太空堪稱*接近真空的空間。

真空技術專業名詞

1. 標準大氣壓

在重力加速度為980.665cm/s2,水銀溫度為0℃,密度為13.5951g/cm3的條件下,760mm高的汞柱產生的壓力,稱為標準大氣壓。一個標準大氣壓的值為:

標準大氣壓值公式.jpg 

2. 真空度

表示真空狀態下氣體的稀薄程度,通常用壓力值來表示。

3. 真空區域劃分

低真空:1E5Pa1E2Pa

中真空:1E2Pa1E-1Pa

高真空:1E-1Pa1E-5Pa

超高真空:1E-5Pa1E-9Pa

*高真空:低于1E-9Pa

4. 全壓力

混合氣體中所有組分壓力的總和。

5. 分壓力

混合氣體中某一組分的壓力。

6. 平均自由程

一個分子與其它氣體分子每連續兩次碰撞之間的平均路程,叫平均自由程。平均自由程與壓力、溫度及分子直徑等因素有關。對于室溫下的空氣,平均自由程近似值由下式給出:

 平均自由程.jpg

式中λ —平均自由程,m—氣體壓力,Pa

7. 粘滯流

氣體分子的平均自由程遠小于導管最小截面尺寸的流態。因此,流動取決于氣體的粘滯性,粘滯流可以是層流或滯流。

8. 分子流

氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態。

9. 中間流

在粘滯流和分子流之間狀態下氣體通過導管的流動。

10. 流量

在給定時間間隔內通過某一截面的氣體量除以該時間。

11. 吸附

固體或液體對氣體或蒸氣的捕集現象。

12. 解吸

被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現象。

13. 去氣

氣體從材料中人為的解吸。

14. 放氣

氣體從材料中自然的解吸。

15. 滲透

氣體通過固體阻擋層的現象。

注:只列出常用真空技術術語,如果需要其它術語的解釋,請查閱真空標準GB/T3163-2007

 



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