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錦正茂多維磁場探針臺的用途及技術參數

更新時間:2023-01-30 點擊量:769

產品概述:

北京錦正茂科技有限公司提供的多維磁場探針臺,采用無磁材料制成,采用亥姆霍茲線圈正交放置,產生空間維磁場。線圈可采用自然冷卻(磁場較小)水冷結構(磁場較大),標配線圈過熱保護裝置。配合高精度雙極性直流電源可長時間穩定工作。通過軟件或者電源控制面板控制每一維輸出電流,可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺,可以實現水平方向二維移動和360度轉動,便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂,同時配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號,用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。

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應用范圍:

廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。三維探針臺和錦正茂自主研發的高精度雙極性電源相匹配,通過真正的雙極性電源輸出,實現了空間任意方向上的矢量場合成。

可選附件:

t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線

t CCDC-MOS視頻成像裝裝置

t Chuck運動裝置

t 電磁鐵系統/超導磁鐵系統

t 1Mpa正壓系統升級

t 超高溫升級選件

t 超高真空升級選件

t 各類探針夾具

t 屏蔽箱

t 防振桌

t 轉接頭      

t 靜音真空泵

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技術指標:

三維磁場探針臺

型號

T8-500-3

T8-300-3

T8-100-3

材質

所選材料均為無磁材質

磁場范圍

500Gs

300Gs

100GS

線圈材質

耐高溫漆包線

磁場均勻性

中心區50毫米球體內1%

電源穩定性

三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm

磁場分辨率

0.05 mT

角度分辨率

0.02°

樣品固定方式

吸盤或者壓片

樣品臺直徑

50mm可定制

顯微鏡

XY平面2*2inch,精度1μmZ軸行程≥50.8mm,可選加載激光

放大倍數

16~100X/20~4000X

探針臂數量

24可選

探針臂行程

25mm-25mm-12mm可更換

探針臂移動精度

10μm /2μm/1μm/0.7μm可選

探針長度

38mm

探針直徑

0.51mm

針尖直徑

10μm/5μm/1μm

探針材料

/鈹銅/GGB

漏電精度

100fA

顯微鏡

XY平面2*2inch,精度1μmZ軸行程≥50.8mm,可選加載激光



聯系方式

郵箱:gulong@jinzhengmaoyiqi.com 地址:北京市大興區經濟開發區金苑路2號1幢三層
咨詢熱線

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